Die Entwicklung des Elektronenmikroskops
- 1500 - Bacon erfindet das Vergrößerungsglas.
- 1665 - Hooke zeigt im Lichtmikroskop Zellen des Korkgewebes mit 30-facher Vergrößerung.
- 1873 - Abbé veröffentlicht die Theorie der mikroskopischen Abbildung.
- 1931 - Knoll und Ruska beschreiben ein Transmissionselektronenmikroskop (TEM) mit elektromagnetischen Linsen (17-fache Vergrößerung).
- 1935 - Knoll beschreibt die Möglichkeit der Abbildung von Oberflächen durch einen zeilenförmig über das Objekt geführten Elektronenstrahl.
- 1938 - Von Ardenne baut das erste Durchstrahlungs-Rastermikroskop.
- 1939 - Das erste TEM wird von der Firma Siemens in den Handel gebracht.
- 1941 - Entwicklung von Elektronenbeugungsgeräten bei der Firma Trüb-Täuber
- 1942 - Zworykin, Hiller und Snyder bauen das erste Rasterelektronenmikroskop (REM) mit elektrostatischen Linsen und Signalverstärkung über ein Photomultiplier-System. Die beste Auflösung lag bei etwa 50 nm.
- 1045 - Das erste schweizerische TEM wird von der Firma Trüb-Täuber an der Universität Genf installiert.
- 1948 - Oatley (Universität Cambridge, England) beginnt mit der Entwicklung eines REM und der Erforschung der dazu nötigen Grundlagen.
- 1960 - Everhart & Thornley: REM-Detektor mit Kombination von Szintillator-Lichtleiter-Photomultiplier
- 1965 - Das erste industriell gefertigte REM wird von der Firma Cambridge Scientific Instruments (England) verkauft. Auflösung: 25 nm.
- 1967 - Das erste in der Schweiz installierte REM (Geigy AG, Basel)
- 1970 - Crewe und Mitarbeiter entwickeln ein Transmissions-REM mit Feldemissionskathode und erreichen damit an dünnen Objekten eine Auflösung von 0,5 nm.
- 1971 - Hashimoto und Mitarbeiter: Erste Abbildung einzelner Atome und Atomgruppen an Thoriumdioxid (ThO2) im Dunkelfeld
- 1974 - Crewe und Mitarbeiter beschreiben ein Transmissions-REM mit hoher Beschleunigungsspannung (1000 keV)
- Inzwischen ständige Weiterentwicklung und Verbesserung der REM, Rascher Fortschritt in Elektronik (Mikrochips, IC) und Elektronenoptik