Die Entwicklung des Elektronenmikroskops
- spätes 16. bis frühes 17. Jahrhundert - Entwicklung erster Lichtmikroskope durch Hans und Zacharias Janssen sowie durch Galileo Galilei (das genaue Datum ist unbekannt).
- 1926 - Entwicklung der Elektronenlinse durch Hans Busch
- 1931 - Bau des ersten Elektronenmikroskops (ein Transmissionselektronenmikroskop (TEM)) durch Ernst Ruska und Max Knoll.
- 1931 - Bau des ersten elektrostatischen Elektronenmikroskops durch Reinhold Rüdenberg.
- 1937 - Entwicklung des ersten Raster-Transmissionselektronenmikroskops (STEM) durch Manfred von Ardenne.
- 1939 - Siemens bringt das erste kommerzielle TEM in den Handel.
- 1942 - Entwicklung des ersten Rasterelektronenmikroskop (REM) von Vladimir Zworykin und anderen.
- 1965 - Erstes kommerzielles REM durch Cambridge Scientific Instruments
- 1989 - Gerasimos Danilatos entwicklt das Environmental Scanning Electron Microscope (ESEM), welches ein geringeres Vakuum im Probenraum erfordert.
- Der Einzug der Computertechnik in den letzten Jahren führte zu einer ständigen Verbesserung bei der Justierung der Linsen und der Kompensation von Aberrationen und damit zu einer erheblichen Verbesserung der Qualität der Bilder. Zur Zeit wird gerade am Forschungszentrum Jülich an einem neuen Elektronenmikroskop gearbeitet, welches eine Rekordauflösung von 50 Pikometern liefern soll. Die geplante Inbetriebnahme soll noch im Jahr 2010 erfolgen.